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提高石英坩埚透明层质量的方法

点击次数:   更新时间:19/07/16 09:50:07     来源:www.nvmidia.com关闭分    享:
  石英坩埚分为三层,分别为:外层气泡密集区,中间透明层(理想的是无气泡的),里层涂层。下面的内容介绍一下提高石英坩埚透明层质量的方法。
  一、透明层质量越高,也就是气泡越少,厚度越均匀,R处的厚度越厚,在拉直单晶中:
  1.隔绝了气泡层的气泡进入溶硅中。
  2.透明层本身不会有气泡炸裂带入微小的二氧化硅颗粒。气泡炸裂进入溶硅最直接的影响就是单晶鼓掉,其次就是氧含量增加。
  二、要提高石英坩埚透明层的质量三点:
  1.用好的原料,尤尼明的石英砂。
  2.真空电弧法生产时的炉内真空度和高纯卫生,这点很重要,在好料给你工艺细节不注意也是白搭。
  3.生产工艺流程和温度等,这些就是工艺细节了,比如温度啊,冷却时间等等…
  我们想要提高石英坩埚透明层的质量,就需要从它的原料、生产工艺以及工艺细节上进行调整,这样才能达到我们想要的效果。
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